Topcon技术——制绒
制绒工艺是将原硅片制作成具有角锥体的绒面结构。目前有湿法制绒和激光制绒等工艺方式。目前Topcon电池片的主流基材是182mmx182mm、130mm厚度的N型单晶硅。
目前Topcon电池普遍使用湿法制绒。湿法制绒普遍使用三峰、小辰添加剂。湿法制绒的工艺本身属于碱醇工艺体系(在碱醇工艺之前是酸制绒,由于工艺要求,酸制绒的原料纯度要求更高,安全性更低——含HF。另,醇在添加剂里,用于抑制反应,使得硅片表面形成形貌均一的角锥体结构。形貌均一的绒面可以提升成品电池片的短路电流,对于成品提效提升稳定性具有重要意义。)
湿法制绒的工艺控制点包括制绒时鼓泡速度,制绒温度,碱液浓度,添加剂浓度,槽液换液频率,制绒时间等因素。
由于制绒工艺的反应过程主要为碱液与硅原子反应,逸出氢气,硅原子以硅酸盐的形式溶解进入槽液。鼓泡速度会影响氢气从硅片表面脱离速度,从而影响硅片绒面形貌。而硅酸盐会影响碱液与硅片反应活性(抑制作用),硅酸盐浓度过高还会导致制绒后硅片出现明显的水痕印(这是由于制绒工艺后提篮,硅片表面的硅酸盐在后续酸洗槽中迅速水解形成硅酸和原硅酸,进而附着在硅片表面形成水痕),因此需要合适的槽液更换周期。
碱液浓度会影响硅片表面的腐蚀速度和绒面形貌,这是由于单晶硅中硅的晶体结构为金刚石结构,不同晶面的Si-Si键受碱液腐蚀速度不同,利用硅晶格中不同晶面的硅键反应速率差异从而制成绒面。不同晶面的反应速度的比值与碱液浓度有关。这也是湿法制绒能形成绒面的关键因素(详见各向异性因子)
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